ЭПИТАКСИЯ ЖИДКОФАЗНАЯ

Термин
эпитаксия жидкофазная
Термин на английском
liquid-phase epitaxy
Синонимы
Аббревиатуры
LPE
Связанные термины
гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, нановискер, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Определение

разновидность эпитаксии как одного из технологических методов, применяемых для получения многослойных полупроводниковых гетероструктур типа AlGaAs/GaAs.

Описание

На первом этапе жидкофазной эпитаксии готовится смесь (шихта) из вещества наращиваемого слоя, легирующей примеси, которая может быть донорной или акцепторной, и металла-растворителя, имеющего низкую температуру плавления и хорошо растворяющего материал подложки (Ga, Sn, Pb).Процесс проводят в атмосфере азота и водорода (для восстановления оксидных плёнок на поверхности подложек и расплава) или в вакууме после предварительного восстановления поверхностной оксидной плёнки. Расплав наносится на поверхность подложки (например, GaAs(100)), частично растворяя её и удаляя загрязнения и дефекты. После выдержки при максимальной температуре около 1200 K система медленно охлаждается, расплав из насыщенного состояния переходит в пересыщенное, и избыток полупроводника осаждается на подложку, играющую роль затравки.

Основные факторы, влияющие на качество и свойства эпитаксиальных слоев, - это начальная равновесная температура расплава и скорость его охлаждения, соотношение объема расплава и площади контакта поверхности подложки с расплавом, природа растворителя и растворимого вещества, состояние поверхности подложки. Эпитаксиальный рост полупроводниковых гетероструктур из жидкой фазы дает некоторые преимущества в сравнении с газофазной эпитаксией при получении сильнолегированных слоев и p-n переходов.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. - Москва: Наука-Физматлит, 2007 - 416 с.
Иллюстрации
Внешний вид установки жикофазной эпитаксии фирмы “Cyberstar” для выращивания пленок полупроводниковы

Внешний вид установки жикофазной эпитаксии фирмы “Cyberstar” для выращивания пленок полупроводниковых твердых растворов


Теги
Разделы
Эпитаксиальные слои
Технология
(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)


Энциклопедический словарь нанотехнологий 

ЭПИТАКСИЯ МОЛЕКУЛЯРНОЛУЧЕВАЯ, МЕТОД →← ЭПИТАКСИЯ ГАЗОФАЗНАЯ

T: 0.094587339 M: 3 D: 3