Основная область применения эллипсометрии - исследование оптических свойств материалов. Это включает в себя измерения оптических постоянных тонких (например, оксидных) пленок, а также их толщин в диапазоне, существенно меньшем длины волны света.Интерес к эллипсометрии возрос в 70-80-х гг. 20 в. в связи с особым значением, которое стали придавать анализу структуры, изучению физико-химических свойств и контролю чистоты поверхностей вследствие быстрого развития твердотельной (прежде всего, полупроводниковой) электроники. Эллипсометрия используется также для исследования адсорбции в глубоком вакууме на плоских поверхностях металлов, адсорбции полимеров на границе жидкость-газ и жидкость-жидкость, процессов катализа на микроуровне, свойств верхних слоев поверхностей, подвергнутых коррозии, в электрохимии для изучения окисления электродов, в микробиологии - для исследования оболочек клеток и липидных мембран и др.
Достоинствами эллипсометрии являются простота и быстрота измерений (имеются автоматические эллипсометры), возможность производить их в ходе процесса (in situ), в вакууме, при высоких температурах, в агрессивных средах; кроме того, при экспериментах поверхности не загрязняются и не разрушаются. Главный недостаток метода - трудность правильного выбора модели отражающей системы и интерпретации результатов измерений. Поэтому наиболее перспективно сочетание эллипсометрии с другими методами исследования поверхности, например с оже-спектроскопией, УФ и рентгеновской спектроскопией, методами дифракции электронов и рассеяния ионов.
Смотреть больше слов в «Энциклопедическом словаре нанотехнологий»
метод исследования св-в границы (пов-сти) раздела разл. сред и происходящих на ней явлений (адсорбция, окисление и др.) по параметрам эллиптич. поляри... смотреть
Проем Приятие Прилет Прием Престол Престо Преос Премия Премило Пояс Поэт Потир Поти Потеря Пот Пострел Постер Пост После Пос Порт Помести Полмил Полметр Полиэстр Полиэстер Политие Политес Полит Полисемия Полис Полир Полиметрия Полимерия Полимер Полет Полемист Пол Поем Пляс Плот Плитя Плис Плие Плести Плес Племя Питие Питер Пистия Пирс Пиролит Пирит Пир Пиорея Пим Пилястр Пилот Пиллерс Пиит Пиемия Пиелит Пие Петя Петр Петля Песя Пестро Пест Песо Пес Перт Перст Персия Перси Перс Перо Перлит Перл Периост Пери Пелория Пеллия Пелит Отел Ося Острие Остерия Остер Ост Осип Осетр Осетия Орт Орс Ория Орест Орел Опт Омлет Омет Оля Олимп Олим Мятие Мясо Мяло Мэтр Мэрия Мэри Мэр Мтс Мпс Мотя Мот Мост Морс Морис Морея Мор Мопс Моп Моляр Моир Митя Мистерия Мистер Мис Мирт Миро Мир Миот Миосепт Миопия Мио Миля Мило Миллерит Миллер Миелит Метро Метрия Метр Метоп Метол Метис Метил Место Мести Мес Меря Мерс Мерило Мелотрия Мелотипия Мелос Мелор Мелия Мелис Мелилит Мел Ляпис Ляп Лэп Лот Лори Лор Лом Литр Литорея Литер Листие Листерия Лист Лис Липометрия Лимит Лиля Лилия Лилит Лиеп Летом Лето Леся Леля Итр Итл Прол Пролет Пролитие Пром Промес Промилле Истрия История Истерия Протия Ипс Псел Птерилия Птр Иолит Иол Имя Импост Импорт Империя Илот Илл Илим Еэс Ермил Рем Релит Пэр Ипомея Прясло Прямо Прямило Иприт Протес Ирмос... смотреть
совокупность методов изучения поверхностей жидких и тв. тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и преломлён... смотреть
(физический метод оценки аффинности моноклональных антител)ellipsometry
ж.ellipsometry- когерентная эллипсометрия- эллипсометрия отражения
ж. ellissometria f
Начальная форма - Эллипсометрия, единственное число, женский род, именительный падеж, неодушевленное
ellipsométrie
Ellipsometrie
ellipsometry
Ellipsometrie
ellipsométrie
эллипсметрия
ellipsometry
ellipsometry
ellipsometry
reflection ellipsometry