ФОТОРЕЗИСТ
- Термин
- фоторезист
- Термин на английском
- Синонимы
- Аббревиатуры
- Связанные термины
- литография, травление в литографии
- Определение
- свето- или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на подложку в литографическом процессе путем его облучения (экспонирования) через маску с проекциями элементов электронной схемы и последующего проявления (травления в растворителе) так, что изображение схемы переносится на подложку.
- Описание
В зависимости от характера изменения структуры и свойств в результате облучения, фоторезисты делят на негативные и позитивные.Если в результате облучения пленка полимеризуется и теряет растворимость, то обработка растворителем (проявление) ведет к удалению только необлученных участков, и на подложке возникает негативное изображение маски. Соответствующие фоторезисты называются негативными. Если после облучения фоторезист становится растворимым, то при облучении через маску и последующем проявлении удаляются облученные участки, и на подложке возникает позитивное изображение маски. Такие фоторезисты называют позитивными. Позитивные фоторезисты позволяют более точно передавать мелкие геометрические детали изображения по сравнению с негативными. Позитивные фоторезисты изготовляют из феноло- или крезолоформальдегидной смолы с о-нафтохинондиазидом, негативные - из поливинилового спирта с солями хромовых кислот или циклизованного каучука с добавками, вызывающими “сшивание” макромолекул при облучении.
- Авторы
- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
- А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
- Иллюстрации
-
Установка для нанесения фоторезиста
- Теги
- Разделы
-
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Смотреть больше слов в «Энциклопедическом словаре нанотехнологий»
Смотреть что такое ФОТОРЕЗИСТ в других словарях:
ФОТОРЕЗИСТ
(от Фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать) полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пл... смотреть
ФОТОРЕЗИСТ
фоторезист сущ., кол-во синонимов: 2 • материал (306) • резист (5) Словарь синонимов ASIS.В.Н. Тришин.2013. . Синонимы: материал, резист
ФОТОРЕЗИСТ
ФОТОРЕЗИСТ (от фото... и англ. resist - сопротивляться, препятствовать ), полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводни... смотреть
ФОТОРЕЗИСТ
1) Орфографическая запись слова: фоторезист2) Ударение в слове: фоторез`ист3) Деление слова на слоги (перенос слова): фоторезист4) Фонетическая транскр... смотреть
ФОТОРЕЗИСТ
photoresist lacquer, photoemulsion, photoresist, photo resist, resist* * *фоторези́ст м.photoresist (material)жи́дкий фоторези́ст — liquid photoresist... смотреть
ФОТОРЕЗИСТ
Ферт Трот Трос Триоз Трио Триест Треф Трест Тостер Тост Торф Торт Торс Торос Торит Тори Тор Тоо Тоз Тиф Титр Титор Тит Тис Тирс Тире Тир Тиофос Тизер Тефрит Тетр Тетис Тесто Тест Тес Терофит Теософ Теор Теист Тезис Сферит Стрит Стрет Стр Стер Срез Софт Софит Сотр Соте Сорт Сорит Сор Сиф Ситро Сито Сет Серо Рот Рост Рифт Риф Рис Рио Ризотто Реф Рет Резит Резист Рез Офсет Офортист Офорт Офит Офис Отто Отрез Отит Остро Острие Остит Фес Фетр Фирс Форо Форос Остер Остеофит Форс Ост Орт Форт Форте Фот Орс Итр Фри Изот Зот Зостер Зоофит Зет Фриз Зеро Зер Фтор Фоторезист Фото Озеро Орест Ортит Осетр Осот Остеит... смотреть
ФОТОРЕЗИСТ
Ударение в слове: фоторез`истУдарение падает на букву: иБезударные гласные в слове: фоторез`ист
ФОТОРЕЗИСТ
м.photoresist- вакуумный фоторезист- жидкий фоторезист- негативный фоторезист- плёночный фоторезист- позитивный фоторезист
ФОТОРЕЗИСТ
Fotolack, Fotoresist, Kopierlack, Lack электрон., (светочувствительное вещество, обеспечивающее селективное травление) Photoresist, Resist
ФОТОРЕЗИСТ
photoresist– задубленный фоторезист– засвеченный фоторезист– обратный фоторезист– прямой фоторезистСинонимы: материал, резист
ФОТОРЕЗИСТ
м. fotoresist m
ФОТОРЕЗИСТ
сущ. муж. родафоторезист -у
ФОТОРЕЗИСТ
〔名词〕 光致抗蚀剂光敏抗蚀剂光阻材料Синонимы: материал, резист
ФОТОРЕЗИСТ
фоторез'ист, -аСинонимы: материал, резист
ФОТОРЕЗИСТ
фоторезистСинонимы: материал, резист
ФОТОРЕЗИСТ
Начальная форма - Фоторезист, винительный падеж, единственное число, мужской род, неодушевленное
ФОТОРЕЗИСТ
photorésist, résine photosensible
ФОТОРЕЗИСТ
(напр. для опознавания детали) photoresist
ФОТОРЕЗИСТ
фоторезист фоторез`ист, -а
ФОТОРЕЗИСТ
photoresist, photosensitive resist
ФОТОРЕЗИСТ
фоторезист, -у
ФОТОРЕЗИСТ
• fotorezist
ФОТОРЕЗИСТ
photoresist
ФОТОРЕЗИСТ
photorésist
ФОТОРЕЗИСТ
фоторезист
ФОТОРЕЗИСТ У
імен. чол. родуфоторезист